XR源包括一個19英寸的機架，該機架包含氣體子系統，功率傳輸子系統和電子控制設備；無電極Z-pinch光源組件及其集成的真空泵；以及高效脈沖調制器。這種模塊化設計可輕松集成到顯微鏡或其他應用設備。 XR能夠向2pi球形弧度提供高達400 milliwatts的2.8nm功率，并且將以高達2kHz的脈沖重復頻率連續運行。 XR安裝簡單易于使用，僅需電源，冷凍水供應，干凈的干燥壓縮空氣和高純度氮氣。
為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進行了如下的優化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。
無電極 Z-Pinch™ 軟X射線 (SXR)光源 EQ-10SXR
前期，用于水窗顯微鏡和其他應用的軟X射線（SXR）在同步加速器設施之外無法提供。現在，得益于Energetiq研發的實驗室級光源，軟X射線可以在各種實驗室中用于通量水平的成像和微探測應用。
無電極 Z-Pinch™ 軟X射線 (SXR)光源 EQ-10SXR
前期，用于水窗顯微鏡和其他應用的軟X射線（SXR）在同步加速器設施之外無法提供。現在，得益于Energetiq研發的實驗室級光源，軟X射線可以在各種實驗室中用于通量水平的成像和微探測應用。
